传感器时代 – MEMS技术

人类进入了信息时代,也进入了传感器时代。在现代控制系统中,传感器位于被测对象与测试系统的接口处,可以间接或间接地了解被测对象。它是信息输出的“窗口”,是万物互联的眼睛,是数据信息采集的唯一功能装置,间接影响和契合系统的性能。尤其是物联网、小数据、云计算甚至智慧城市等各种技术的实现引起了国际关注,尤其限于传感器技术。

标准有争议的传感器

目前,全球约有 26,000 个传感器。由于缺乏制定国际标准的指导方针和规范,目前还没有权威的传感器标准类型。目前,行业因机理复杂、材料复杂,以及工业现场环境、使用场景以及检测介质的特点、个体参数、操作简单等特点,可分为直观的物理传感器、化学传感器和生物传感器。结构。此后,传感器一直处于多品种小批量生产的状态。由于工艺技术的分散性和复杂性以及设备价格低廉,业界将其生产过程称为制作“工业工艺品”。

MEMS技术是硅谷传感器领域的创造力源泉

在MEMS技术的基础上,根据不同行业和功能的需求,打造出各种不同封装结构的传感器产品。至今已近25年,生产出各种传感器产品。

目前,有4英寸、6英寸、8英寸和12英寸的MEMS成熟阶段工艺。随着半导体平面技术的升级,工艺设备和器件的成熟度提高,价格不断下降。产品广泛应用于物理、化学和生物传感器,并在声学、光敏、热敏、力敏、磁敏、气体、湿度、压力、离子敏感等传感器方面已经成熟。不仅提高了产业化能力,降低了产品成本,而且大大提高了产品的可靠性、稳定性和一致性。

美国明确提出了传感器智能的三大核心技术和创新趋势:

MEMS工艺技术。轻量化、高功耗、高成本、余料混合、余量参数集成、大型集成工艺技术与装备、微米和亚微米低精度控制技术、柔性生产工艺技术等。

无线网络技术。为配合各类物联网(传感网络)技术的推广应用,发展工业互联网、人工智能技术、智能出行终端、无线联网传感产品和5G技术标准下的技术创新。

微能量收集技术。在传感器智能节点的室内外使用过程中,尤其是在野外环境中,供电问题一直是其在各个领域推广应用的主要障碍。致力于自然界中风能、光能、电磁能等微能的采集与获取,被称为“微能捕获技术”。

产业化特点

技术和市场孤岛和碎片化是传感器创新的关键。这就需要利用通用的基础技术和流程,建立敏捷生产、流程标准化、产品标准化的生产体系​​,为产品寻找设施市场。根据MEMS工艺技术和产品市场应用特点,热敏、声敏、力敏、光敏、气敏、磁敏、频敏七大类产品满足产业化和市场规模建议,可建设工业规模生产。

大产业就是大战略

目前,国内传感器产值超亿元,仅占企业总数的13%。针对国内行业的现状、特点和适用问题,结合传感器技术和工艺的特点,预计将有数十家传感器企业和科研院所汇聚行业。 、具有产业规模优势和国际市场影响力的产业集群或基地。同时,拥有集政、产为一体的六维生态环境、学习、研究、应用和商业,构建产业集群的转型,形成中国传感器的“双生态”。 产业链。 传感谷是一个特色鲜明、区位优势明显的产业。 引人注目的国际传感器产业园。

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